Hệ đo đặc trưng điện của vi cảm biến vận tốc góc kiểu tuning fork

Đo lường – Tin học 
 N. N. Minh, , V. N. Hùng, “Hệ đo đặc trưng điện của vi cảm biến  kiểu Tuning Fork.” 354 
HỆ ĐO ĐẶC TRƯNG ĐIỆN CỦA VI CẢM BIẾN VẬN TỐC GÓC 
KIỂU TUNING FORK 
Nguyễn Ngọc Minh, Nguyễn Quang Long, Chu Mạnh Hoàng, Vũ Ngọc Hùng* 
Tóm tắt: Nội dung của bài báo này trình bày về thiết kế hệ đo đặc trưng của vi 
cảm biến vận tốc góc. Vi cảm biến vận tốc góc được sử dụng là kiểu Tuning Fork 
trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử MEMS (thiết kế chế tạo tại Viện ITIMS). Hệ đo 
gồm có các mô đun tốc độ góc, mô đun chuyển đổi C-V (MS3110) và mô đun thu 
thập dữ liệu USB-6009 kết nối với máy tính xử lý dữ liệu bởi phần mềm LabvieW. 
Trong hệ đo có sử dụng truyền động quay bằng động cơ servo có điều khiển tốc độ 
và thời gian quay. Vận tốc góc cần đo sẽ có tỷ lệ với điện dung cảm ứng đầu ra của 
vi cảm biến vận tốc góc, điện dung được chuyển đổi tỷ lệ sang điện áp ta sẽ tính 
toán được vận tốc góc cần đo. Trong quá trình nghiên cứu, hệ đo đã được xây dựng 
thành công và đã có kết quả thực nghiệm. Quá trình thực nghiệm đo cho thấy quan 
hệ giữa vận tốc góc cần đo -200÷200 (deg/s) và điện áp đầu ra của bộ chuyển đổi là 
tuyến tính. 
Từ khóa: Vi cảm biến vận tốc góc; MS3110; Ni-USB6009; Servo motor. 
1. ĐẶT VẤN ĐỀ 
Trong khoảng 30 năm trở lại đây sự ra đời và phát triển của công nghệ MEMS, một 
lĩnh vực công nghệ cao (Hi-tech) đã tạo ra một cuộc cách mạng về khoa học kỹ thuật và 
công nghệ chế tạo các linh kiện cảm biến (sensors) và chấp hành (actuators) ở phạm vi 
kích thước dưới milimet. Ưu điểm vượt trội của các cảm biến loại này là độ nhạy cao, kích 
thước nhỏ gọn, tiêu thụ năng lượng ít. Cảm biến vận tốc góc (hay con quay vi cơ) có ứng 
dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực như công nghiệp chế tạo ô tô như chống trượt đổ xe 
[1]. Trong các thiết bị dân dụng như ổn định của máy ảnh số và điện thoại di động, chuột 
quán tính cho các thiết bị cầm tay [2]. Đặc biệt, sự phát triển của con quay vi cơ có độ 
nhạy và độ ổn định cao là yêu cầu thiết yếu cho các ứng dụng trong lĩnh vực công nghiệp 
robot và quân sự, bao gồm các thiết bị định vị quán tính trong công nghiệp hàng không và 
vũ trụ [3]. 
Cảm biến vận tốc góc đã được nhóm chúng tôi nghiên cứu, mô phỏng với kết quả tốt và 
chế tạo thành công tại Viện ITIMS. Để khảo sát các đặc trưng và đánh giá được chất lượng 
của cảm biến sau chế tạo là một bước rất quan trọng. Đó là một yêu cầu và là một thách 
thức. Sau thời gian nghiên cứu xây dựng nhóm đã thành công hệ đo đặc trưng cho cảm 
biến sau chế tạo. 
Trong bài báo này, chúng tôi trình bày thiết kế hệ đo đặc trưng tần số, đầu vào đáp ứng 
tốc độ góc của con quay âm thoa trục - Z với cấu trúc răng lược. Hệ đo có khả năng phân 
tích tín hiệu trong miền thời gian và trong miền tần số sử dụng phép biến đổi fourier. Với 
việc tính hàm mật độ phổ năng lượng ta biết được tín hiệu tập chung ở tần số nào. Độ nhạy 
và hệ số Q cũng được xác định bằng thực nghiệm. 
2. CẢM BIẾN VẬN TỐC GÓC KIỂU TUNING FORK 
Con quay vi cơ kiểu âm thoa (Tuning Fork Gyroscope) hoạt động dựa trên hiệu ứng 
Coriolis. Cấu trúc con quay vi cơ có thể được xem như một hệ thống động lực 2 bậc tự do 
bao gồm khối gia trọng, bộ phận đàn hồi và bộ phận giảm chấn. Khối gia trọng với khối 
lượng m đồng thời tham gia chuyển động thẳng với vận tốc v
và chuyển động quay với 
vận tốc góc 
 sẽ chịu tác dụng của lực Coriolis: 
Nghiên cứu khoa học công nghệ 
Tạp chí Nghiên cứu KH&CN quân sự, Số Đặc san FEE, 08 - 2018 355
2 [ . ]cF m v 
 (1) 
Lực Coriolis tỷ lệ với tích véctơ của vận tốc dài v
 và vận tốc góc 
. 
Trong nghiên cứu này, mô hình thiết kế con quay vi cơ kiểu âm thoa trục z được đề 
xuất (hình 1) 
Hình 1. Sơ đồ cấu trúc vi cảm biến vận tốc góc kiểu âm thoa. 
Khi đồng thời tham gia chuyển động quay với vận tốc góc theo phương z vuông góc 
với mặt phẳng của khối gia trọng, hệ khung gia trọng bên trong sẽ chịu tác dụng của lực 
Coriolis và dịch chuyển theo phương y trong mặt phẳng chứa khung gia trọng dẫn tới làm 
thay đổi giá trị điện dung của hệ tụ cảm ứng. 
Trong mô hình thiết kế này, sự thay đổi điện dung cho một điện cực đặt với N răng 
lược ở mỗi bên có thể được tính như sau: 
Y
g
tL
NC
20
2  (2) 
Trong đó, Y là sự dịch chuyển của điện cực theo hướng chuyển động. 
Hình 2. Vi cảm biến vận tóc góc Gyroscope. 
Cảm biến chế tạo xong được hàn dây tín hiệu vào ra và đóng gói trong hộp nhựa mica ở 
môi trường khí quyển (hình 2). 
3. SƠ ĐỒ HỆ ĐO 
Sơ đồ khối hệ đo 
Hình 3. Hệ đo đặc trưng cảm biến. 
Đo lường – Tin học 
 N. N. Minh, , V. N. Hùng, “Hệ đo đặc trưng điện của vi cảm biến  kiểu Tuning Fork.” 356 
Để xác định được đặc trưng của cảm biến chúng tôi sử dụng động cơ servo loại VRSF-
25C-200 của TAMAGAWA làm động cơ tạo vận tốc góc (hình 4). Động cơ được điều 
khiển bằng driver TYB201D3-VVT2. Trên trục động cơ có gắn một đĩa tròn, sau đó gắn 
cảm biến, bộ chuyển đổi C/V và bộ DAQ trên đĩa này. Khi động cơ quay sẽ tạo ra một vận 
tốc góc theo trục z của cảm biến. 
Hình 4. Động cơ servo có điều khiển tạo vận tốc góc. 
Để xử lý và thu thập dữ liệu cho các đặc trưng chúng tôi đã xây dựng hệ đo với khả 
năng điều khiển và hiển thị thông số trên máy tính như H.4: Cảm biến được cấp nguồn DC 
và AC từ bộ nguồn DC và máy phát hàm. Động cơ servo được điều khiển bằng bộ driver 
làm thay đổi vận tốc góc, khi đó điện dung đầu ra của cảm biến được đưa qua bộ chuyển 
đổi C/V MS3110 và bộ chuyển đổi này được hiệu chỉnh thông số bởi phần mềm 
ms3110prg trên máy tính. Tín hiệu đầu ra bo mạch MS3110 là điện áp được đưa qua card 
thu thập dữ liệu USB6009 và được sử lý dữ kiệu bằng phần mềm Labview trên máy tính. 
Trong đó: Khối chuyển đổi tín hiệu MS3110 [4] có nhiệm vụ chuyển đổi điện dung từ 
cảm biến thành điện áp (C/V) và có thể phát hiện đến femtoFarad, cụ thể với độ phân giải 
4.0aF/rtHz. Hình 5 cho thấy cái nhìn tổng quan của bo mạch chuyển đổi MS3110. Trong 
mạch Jumper J3 được dùng làm kết nối giữa IC với cảm biến. Bo mạch được hiệu chỉnh 
thông qua cổng kết nối song song 
Hình 5. Bo mạch chuyển đổi C/V MS3110 và sơ đồ kết nối. 
Sơ đồ khối chức năng 
Hình 6. Sơ đồ khối chức năng bo mạch MS3110BD. 
MS3110 cảm nhận sự thay đổi điện dung giữa hai tụ và cung cấp một điện áp đầu ra tỷ 
lệ thuận với sự thay đổi đó. Các tụ điện để được cảm nhận là một cặp cân bằng bên ngoài 
Nghiên cứu khoa học công nghệ 
Tạp chí Nghiên cứu KH&CN quân sự, Số Đặc san FEE, 08 - 2018 357
CS1IN và CS2IN. Điện áp đầu ra quan hệ với sự thay đổi giữa các tụ cảm biến CS2T và 
CS1T theo sau đây: 
V0 = GAIN*V2P25*1.14*(CS2T-CS1T)/CF + VREF 
Ta điều chỉnh trên phần mềm để đạt được sự thay đổi điện dung của cảm biến 1pF 
tương ứng điện áp đầu ra 1mV. 
Khối thu thập dữ liệu USB-6009 [5]: Card thu thập dự liệu NI USB-6009 có 8 đầu vào 
analog, 2 đầu ra tương tự, 12 đầu vào/ ra kỹ thuật số và 32-bit truy cập. Tốc độ lấy mẫu tối 
đa của mỗi đầu vào tương tự là 48 kS/s. Tốc độ mẫu vào đầu ra tương tự là 150 S/s và nó 
không thể thay đổi đầu vào analog có độ phân giải 14-bit và đầu ra analog có độ phân giải 
12-bit. Giao diện USB cho phép chuyển đổi tốt hơn và dễ dàng hơn kết nối với máy PC. 
Hình dáng bên ngoài của card trong hình 7. 
Hình 7. Card thu thập dữ liệu của NI USB-6009. 
Điện áp tối đa có thể được kết nối với đầu vào analog là từ -20 V đến 20 V (thông số 
kỹ thuật thẻ nói -10 V đến 10 V, nhưng trong thực tế -20 đến 20 V có thể được kết nối). 
Analog đầu ra điện áp là 0-5 V và nó không thể thay đổi. Card kết nối với máy tính thông 
qua cổng USB. Tại đầu vào kỹ thuật số nó có thể được kết nối với điện áp 0-5 V và tại đầu 
ra kỹ thuật số nó cho 5 V. Card cũng có một bộ đếm cho điện áp 0-5 V với tần số tối đa là 
5 MHz. 
Tín hiệu thu thập được đưa vào máy tính hiển thị tín hiệu, dạng tín hiệu qua bộ lọc và 
phân tích phổ tín hiệu FFT. 
Hình 8. Chương trình đo và hiển thị trên máy tính. 
Sensor
MS3110
DAQ 
USB6009
Servo motor
MT xử lý tín 
hiệu và hiển thị
MT điều khiển 
bo MS3110
Máy hiện sóng
Máy phát hàm
Nguồn DC Driver
Network Analyzer 
Hình 9. Hệ đo đặc trưng. 
Đo lường – Tin học 
 N. N. Minh, , V. N. Hùng, “Hệ đo đặc trưng điện của vi cảm biến  kiểu Tuning Fork.” 358 
4. KẾT QUẢ KHẢO SÁT ĐẶC TRƯNG 
Sau khi thực hiện khảo sát vi cảm biến vận tốc góc ở môi trường áp suất khí quyển kết 
quả đạt được biểu diễn với hai đặc trưng chính. Hai đặc điểm chính là đáp ứng tần số cộng 
hưởng của kích thích, cảm ứng và đầu vào đáp ứng tốc độ góc. Các tần số cộng hưởng của 
cảm biến là thông tin quan trọng. Vì các cảm biến cần thiết để hoạt động theo điều kiện 
cộng hưởng, các tần số cộng hưởng phải được xem xét trước. Ngoài ra, khi các tần số cộng 
hưởng của chế độ kích thích và cảm ứng được biết, băng thông hoạt động của cảm biến 
cũng được xác định. Khi tần số tự nhiên được biết, đặc tính cảm biến liên tục được khảo 
sát phản ứng tốc độ góc đầu vào bằng cách sử dụng lực tĩnh điện kích thích và điều khiển 
tốc độ góc. 
4.1. Tần số đáp ứng 
Trong bài báo này chúng tôi thực nghiệm trên cảm biến freestanding gyroscope loại 
10kHz. Với điện áp một chiều là 5VDC và 5VAC được sử dụng. Tần số đáp ứng ở chế 
độ cảm ứng là 11125 Hz. Kết quả này là hợp lý vì cấu trúc thực tương ứng so với mô 
hình mô phỏng. 
Hình 10. Tần số đáp ứng của chế độ cảm ứng. 
4.2. Đáp ứng tốc độ góc 
Từ các giá trị tần số tự nhiên thu được, khảo sát thứ hai - đo tốc độ góc được thực hiện. 
Đối với khảo sát này, điện áp 5VDC được đặt lên các khối gia trọng và điện áp 5VAC biên 
độ với tần số trong khoảng 11108 Hz đến 11125 Hz. Bo mạch MS 3110 được thiết lập 
điện dung thay đổi 1pF đầu vào thì đầu ra thay đổi 1mV. Trong khi động cơ servo được 
điều khiển để cho sự thay đổi tốc độ góc trong khoảng 0-200°/s, đáp ứng đầu ra cảm ứng 
của con quay vi cơ 10 kHz được thể hiện trong hình 11. Độ nhạy của cảm biến 10kHz thu 
được là 4.39e-4 V/°/s. 
Hình 11. Đặc trưng vận tốc góc đầu vào là hàm của điện áp đầu ra của 
vi cảm biến vận tốc góc 10kHz. 
Nghiên cứu khoa học công nghệ 
Tạp chí Nghiên cứu KH&CN quân sự, Số Đặc san FEE, 08 - 2018 359
5. KẾT LUẬN 
Hệ đo đặc trưng của vi cảm biến vận tốc góc kiểu tuning fork đã được xây dựng. Hệ đo 
đã khảo sát các đặc trưng hoạt động của vi cảm biến vận tốc góc kiểu Tuning Fork 10kHz 
chế tạo tại Viện ITIMS. Các kết quả thực nghiệm đạt được là tần số hoạt động là 11,12 
kHz và độ nhạy của nó là 4.39x10-4 V/°/s. 
Đặc tính kỹ thuật: 
- Kích thước: 4554 m x 3935 m 
- Độ nhạy: 0,44 mV/0/s 
- Điện áp kích thích: 5VDC; 5VAC 
Lời cảm ơn: Công trình nghiên cứu này được thực hiện với sự tài trợ của chương trình 
NAFOSTED, Bộ Khoa học & Công nghệ, trong khuôn khổ đề tài nghiên cứu cơ bản mã số 
103.99- 2014.34. 
TÀI LIỆU THAM KHẢO 
[1]. J. Classen et al, “MEMS gyroscopes for automotive applications. In Advanced 
Microsystems for Automotive Applications”, Springer: Berlin, Germany, 2007; pp. 291-306. 
[2]. M. Keim et al, “Bosch angular rate sensorsadvanced sensor technology for 
innovative applications”, Proc. Commercialization of Microsystems, COMS 2003. 
[3]. M.S. Grewal et al, “Global Positioning Systems, Inertial Navigation and Integration”, 
John Wiley & Sons: Hoboken, NJ, USA, 2001. 
[4]. Irvine Sensors Corporation, “MS3110 universal capacitive readoutTM IC data sheet”, 
May 2004. 
[5]. National Instruments, “NI USB-6008/6009 User Guide”. 
ABSTRACT 
MEASURING SYSTEM ELECTRIC CHARACTERISTICS 
OF GYROSCOPE TUNING FORK 
 The content of this paper is about the design of the measuring system of the 
angular velocity sensor. The angular velocity sensor used is a tuning fork based on 
MEMS microelectronic technology (designed and manufactured by ITIMS). 
Measurements include angular velocity modules, C-V conversion module (MS3110) 
and USB-6009 data acquisition module connected to computer data processing by 
LabvieW software. In the measurement system using rotary actuators with servo 
motors with speed control and rotation time. The angular velocity to be measured 
will be proportional to the output capacitance of the angular velocity sensor, and 
the capacitance converted to the voltage will calculate the angular velocity to be 
measured. In the course of the study, the system was successfully developed and 
there were experimental results. Experimental measurements show that the 
relationship between the angular velocity measured -200 ÷ 200 (deg/s) and the 
output voltage of the converter is linear. 
Keywords: Gyroscope tuning fork; MS3110; Ni-USB6009; Servo motor. 
Nhận bài ngày 01 tháng 7 năm 2018 
Hoàn thiện ngày 10 tháng 9 năm 2018 
Chấp nhận đăng ngày 20 tháng 9 năm 2018 
Địa chỉ: Viện ITIMS, Đại học Bách khoa Hà Nội, số 01 Đại Cồ Việt, Hà Nội. 
 * Email : hungvungoc@itims.edu.vn.